瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器微型皮拉尼真空計(jì) 壓力計(jì) - MTCS2300系列

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不受安裝位置影響
尺寸小，抗沖擊能力強(qiáng)（>1000 G）
耐腐蝕性氣體，如氫氣，使用金觸點(diǎn)

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器微型皮拉尼真空計(jì) 壓力計(jì) MTCS2300 描述：

MTCS2300壓力計(jì)是專用MEMS器件，根據(jù)皮拉尼原理進(jìn)行熱導(dǎo)率測量，為小型TO8或TO39封裝。

該傳感器采用鎳鉑電阻MEMS技術(shù)，將一個大微機(jī)械低應(yīng)力氮化硅膜、兩個加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個補(bǔ)償用參考電阻，集成在微型封裝中。

此MEMS結(jié)構(gòu)結(jié)合了用于電源和溫度分析的簡單CMOS標(biāo)準(zhǔn)集成電路，是要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蝕氣體的尺寸關(guān)鍵真空OEM傳感解決方案的合適之選。

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器微型皮拉尼真空計(jì) 壓力計(jì)?MTCS2300?特點(diǎn)：

擴(kuò)展測量范圍 10-4 ~ 1000 mbar

傳感器幾何結(jié)構(gòu)和傳感器電阻完美匹配的MEMS微機(jī)械硅傳感器

< 0.1 cm3的超小傳感器氣體體積

皮拉尼微導(dǎo)線到墻的距離由硅微機(jī)械調(diào)節(jié)，可降至10 μm 或 20 μm ，具有優(yōu)異的傳感器重復(fù)性

采用帶250 Ohms大集成電阻和小加熱元件的MEMS硅傳感器，因此具有超低運(yùn)行功耗（< 6 mW）

超快響應(yīng)時間 < 50 ms

由于相似的加熱電阻和參考電阻，在微型結(jié)構(gòu)的鉑鎳薄膜工藝中輕松實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償

不受安裝位置影響

尺寸小，抗沖擊能力強(qiáng)（>1000 G）

耐腐蝕性氣體，如氫氣，使用金觸點(diǎn)

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器微型皮拉尼真空計(jì) 壓力計(jì)?MTCS2300 應(yīng)用：

泄露檢測

推進(jìn)裝置

半導(dǎo)體制造（如濺射室）

冷凍干燥機(jī)

真空肉類包裝機(jī)

真空鍍膜

負(fù)載鎖

通常，基于皮拉尼原理，在功率和尺寸受限的惡劣環(huán)境中進(jìn)行壓力測量，例如分便攜式析儀器，小型機(jī)械泵系統(tǒng)

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器微型皮拉尼真空計(jì) 壓力計(jì)?MTCS2300 參數(shù)：

瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器微型皮拉尼真空計(jì) 壓力計(jì)?MTCS2300? 選型：