瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601
MEMS 傳感器遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理,基于氣體熱導(dǎo)率變化對(duì)于壓力
測量范圍:0.0001~1000mbar,卓越的可重復(fù)性
硅晶片上有加熱電阻,并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償
超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
穩(wěn)定和長的 MTBF(>30000 小時(shí)) ,基于物理阻抗感應(yīng)原理
超低功耗消耗(<6mW),由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應(yīng)時(shí)間<50mS
對(duì)安裝位置不敏感
可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中
與一個(gè)簡單恒定的溫度電路兼容
產(chǎn)品介紹
一、熱導(dǎo)式氣體傳感器?MTCS2601?描述:
MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個(gè) Ni-Pt 電阻組成的微機(jī)械的熱電導(dǎo)率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內(nèi)。同時(shí)結(jié)合了低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路,非常適合 OEC廠商的泄漏檢測,或者基于帕拉尼原理的真空度檢測,需要超低功耗,長壽命和免維護(hù)的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級(jí)壓力控制,需要功耗和尺寸的限制,或者是氣體泄漏或者水分,或者侵入。
二、 熱導(dǎo)式氣體傳感器?MTCS2601特點(diǎn):
MEMS 傳感器遵循沒有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理,基于氣體熱導(dǎo)率變化對(duì)于壓力
測量范圍:0.0001~1000mbar,卓越的可重復(fù)性硅晶片上有加熱電阻,并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償
超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
穩(wěn)定和長的 MTBF(>30000 小時(shí)) ,基于物理阻抗感應(yīng)原理
超低功耗消耗(<6mW),由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應(yīng)時(shí)間<50mS
對(duì)安裝位置不敏感
可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中
與一個(gè)簡單恒定的溫度電路兼容
三、 熱導(dǎo)式氣體傳感器?MTCS2601應(yīng)用:
1.作為氣體濃度測量傳感器的應(yīng)用:
室內(nèi)外空氣中H2、CH4、CO2、LPG氣體監(jiān)測
?食品工業(yè)的過程控制(例如碳酸飲料中二氧化碳的測量)
?用于燃料電池的氫傳感器
?沼氣廠中CH4的測量
?檢測制冷氣體(CFC、PFC、HFCs等)
?電子產(chǎn)品(例如潛水設(shè)備的氦氣控制)
?呼吸系統(tǒng)監(jiān)測(醫(yī)療)
?控制在惰性氣體下運(yùn)行的封閉系統(tǒng)中的泄漏(例如應(yīng)變計(jì)、硬盤質(zhì)量控制等)
2.作為真空度/壓力測量傳感器應(yīng)用:
?固定和便攜式分析儀器
?封閉系統(tǒng)(如動(dòng)能儲(chǔ)存系統(tǒng))中的泄漏檢測和主要真空控制
?半導(dǎo)體行業(yè)使用的真空設(shè)備
?食品工業(yè)(真空包裝機(jī))
一般來說,皮拉尼微型傳感器占據(jù)的面積小,能夠集成到任何需要其控制的主要真空系統(tǒng)中(例如,密封控制、潛在腐蝕或意外開啟)
四、 熱導(dǎo)式氣體傳感器?MTCS2601推薦的操作條件
MGSM2601 有 4 個(gè)分開連接的電阻:Rm1 和 Rm2 坐落在薄膜上和用于加熱/測量; Rt1 和Rt2 坐落在傳感器的“冷部分”和用于溫度測量和補(bǔ)償。對(duì)于在低真空的壓力測量,恒定的
過溫度操作模式是被推薦的。 由于在一定范圍內(nèi)的壓力傳導(dǎo)率改變是重要的, 能快速的取決于應(yīng)用,這是極佳的方法避免傳感器的損壞。
儲(chǔ)存條件
溫度: -40~100°C
濕度: 0~100%RH,非冷凝
機(jī)械壓力測試
重力加速度:1000g, 0.2mS, 半正弦波
振動(dòng):10g RMS,正弦波:20~2000Hz
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